电子行业干净车间FFU的特点
19-05-15
电子行业干净室的特点
电子行业干净室除了要拥有高效的净化空气特点和职能表，还需思考以下几点:
(1)气流散布要求很均匀 干净空调室为维持室内高干净度，必须去除室内所产生的微尘粒子，因而对气流组织有严格的要求 。对于ISO3~IS06级(1~1000级) 的干净室车间目前选取上顶棚送风、下地板回风的垂直单向流气流组织 。对于ISO7~IS08级(10000 ~100000级)的干净室常选取上顶棚送风、下侧回风口的非单向流气流组织 。
(2)恒温恒湿节造精度高由于电子产品的造作工艺对温、 湿度变动极为敏感，所以在干净室工艺区域的空气参数须严格节造在极幼的领域内 。干净空调系统目前普遍选取了节造矫捷、机能靠得住的直接数字节造( Direct Digital Control, DDC)系统，当室内空气参数达不到设计要求时，可通过DDC节造系统来自动调节各阀门开大或关幼 。这样就不至于使房间温、湿度颠簸太大，影响产品质量和制品率 。
(3)新风量大，换气次数高 在电子产品造作过程中需使用有毒的化学品，会产生有毒的废气，必须排出室表 。为维持干净室车间内正压和满足卫生前提，必须补充大量新风 。为了维持高干净度，干净室应有较高的换气次数，同时室内的空气流速不能太大，通常在0.4m/s以下 。
(4)干净室车间空调冷负荷大但湿负荷很幼，热湿比值靠近无限大电子行业的干净室通常都置于构筑物的中部，固然通过围护结构的得热量较幼，但干净室内工艺设备的发热量相当大，即整年必要排除室内余热量 。如6in晶圆厂的单元面积耗电量约为1. 35kW/m2,而8in晶圆厂的单元面积耗电量则约达到了1. 9kW/m2 。干净室内通常无散湿源，工作人员也是密封在防尘服中 。为了削减静电景象，空气不能太干燥，这就要求空调系统处置室内回风时不能是减湿过程 。
5.8.2 FFU干净空调系统
图5-22所示是电子行业干净室净化工程目前最常用的FFU干净空调系统示意图 。大循环量的回风的冷却由排数少、迎面风速低、水温为12~ 17C的换热盘管承担，回风从回风路到顶棚时经换热盘管除去湿热 。由于该换热器的盘管温度高于回风的露点温度，换热器的表表没有液体水析出，故称其为干盘管(Dry Coil) 。 室表新风经新风机组( Make-up Air Unit.MAU)、粗中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送人顶棚 。�？榛仔虵FU装置在顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经过HEPA或ULPA过滤送入室内 。
FFU系统与其他方式相迸仔以下利益:
(1)矫捷性大，满布率高 对IC工厂而言干净空调系统的矫捷性是很沉要的 。若是车间内干净度随工艺变动面需作区域性调整时， 可通过扭转FFU风量或置换盲板来扭转部门地域的干净度 。当密集布满时， 满布率可达85. 5% 。
(2) FFU上部顶棚为负压，可起负压密封作用 顶棚内呈负压，干净室内空气压力大于顶棚内空间的压力 。若是FFU与支架密封处有缝隙，负压使得未经高效过滤的空气不能进人室内，对保障干净室的干净杜仔利 。 N W
(3) 风系统阻力幼，出风口风速低 FFU的顶风面积较大，空气流动阻力在50Pa左右;回风路截面积大，回风路阻力幼于15Pa;多孔地板及隔栅等的阻力较幼 � ；胤缛枇�(蕴含多孔地板、隔栅风路)、FFU阻力及末级过滤器的阻力，总和幼于250Pa 。FFU出口风速通常为0.38 ~0. 45m/s 。
(4)单元风量能耗低 选取FFU后不必要增设加 图5-23 FFU 干净空调系统空气压风机，不需专设机房，同时预防了送风管路的阻力 。处置过程当FFU选取DC/EC (电子整流)电动机时，电动机的效能可达75% ~ 80%，每台可凭据过滤器压降进行调速节造以节约能耗 。所以单元风量的能耗般比 大型离心风机的集中系统低 。
FFU干净空调系统的空气处置过程如图5-23所示 。室表新风W经新风机组净化、降温、减湿、再热处置后送入顶棚 。为使干净室的温湿度节造得更安稳，通常将处置后的新风调整到干净室的要求状态N,由DDC实现净化工程新风的精确节造 。由于新风机组选取了喷淋洁净水的喷淋段和再热段，所以L点应是新风机械露点，位于N点的垂直下方 。经过装置在回风路上的FFU处置后的H状态回风在顶棚内与经过新风机组处置的新风混合，形成0状态的送风，再由FFU加压过滤送人干净室内 。送人室内的干净空气吸收显热后变为室内状态N,一部门由工艺设备的排风装置排到室表，另一部门再经FFU处置后回用 。整个空气处置过程如图5-24所示 。
